激光干涉仪原理介绍——线性测量与回转轴校准（图文并茂）

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资料概况：

激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。

光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。

产生稳定干涉的条件 ：只有两列光波的频率相同，位相差恒定，振动方向一致的相干光源，才能产生光的稳定干涉。由两个普通独立光源发出的光，不可能具有相同的频率，更不可能存在固定的相差，因此，不能产生稳定干涉现象。

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目录：

一、基本概念

二、激光干涉测量原理

三、Renishaw XL-80激光干涉仪测量系统简介

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部分内容如下：

激光干涉仪

回转轴校准安装方式

回转轴校准光学回路

XL-80回转轴校准配置

环境补偿单元

线性测量回路