电子厂房高纯气体工艺与施工工程

电子厂房高纯气体工艺与施工工程

近 10 年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。

部分内容如下：

半导体制造用气体按照使用时的危险性分类

高纯气体管路的设计要点

高纯特种气体的概念

现场制气、管道供气 图

特种气体供应系统

外购气体供气